A. 國內哪裡可以買到SU8(一種光刻膠,Micro Chem公司的)
Tecan SU-8元件開始供貨
據Yole消息,Tecan公司日前宣布其開始引入基於SU-8材料的技術。該公司是光電鑄鎳微器件的領先供應商,總部位於麻省魏茂斯鎮。
上個月該公司出貨3000萬個SU8材料的微器件。而這么多微器件可以裝在一個試管里。
SU-8是一種紫外敏感的厚光刻膠。近年來由於其優秀的化學、熱學以及機械穩定性而越來越廣泛地應用。目前已經應用在MEMS,包括MOEMS、微流體、機械、感測器、執行器、生物晶元、微齒輪以及校準工具等。
http://www.tecan.co.uk
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文章收入時間: 2006-11-10
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http://www.semi.org.cn/news/news_show.aspx?id=1652
B. 請問國內賣SU8光刻膠的公司有哪些呢
Microchem光刻膠目前國內提供現貨的沒有幾家,基本都是有訂單才會從美國訂購。貨期一般在3個月左右。比較慢!我知道蘇州中芯啟恆科學儀器有限公司有現貨,不過是分裝。不想等太久可以去咨詢。
C. su8 2050光刻膠的參數,就是轉速與厚度的關系
T2*S=常數
厚度的平方乘以轉送等於常數.
這是經驗公式,適於用標准製程,即基本主轉速之前專沒有高轉速干擾屬.
如果有,需要修正因子,相對復雜,需要實驗數據說話.
建議,先根據公式做幾個實驗,驗證一下,來調整你的厚度和標准差.
另外,要強調的是,調厚度不僅僅看轉速,要看到pump的時間,噴光阻的時間,噴光租的轉速,切斷轉速等等,很多因素;說起來簡單,其實是個技術活!
D. 在哪裡可以買到SU8光刻膠價格大概是多少
香港電子來器材有限公司有售自,平均來說每升大約10000元。具體聯系信息不便張貼,網上應可以查的到,如果找不到可以email聯系我:[email protected]。我們這里(博奧生物有限公司,生物晶元北京國家工程研究中心)一直在用SU8及其它各類光刻膠在PDMS、PMMA、硅、玻璃等基底上做各種微流體(microfluidics)、微電極以及MEMS相關的工藝,對外提供晶元加工服務,歡迎來信交流技術。
E. su8光刻膠uv堅膜是什麼意思
堅膜就是Hard bake,把膜烘乾,再顯影時維持profile線條不變形。