2010光刻膠用線性酚醛樹脂

『壹』 我國拿下哪一項「制芯」關鍵技術

「PM2.5，是大家很熟悉的微小顆粒物，直徑小於或等於2.5微米。但我們研製這種製造晶元的關鍵材料，在過程中如果進入了哪怕PM1.0的粉塵，這個材料就是廢品，就不能被應用到晶元當中。」

唐一林簡單一句話，道出了集「超純凈」與「超均勻」於一體的制芯新材料——「光刻膠用線性酚醛樹脂」對環境的苛刻要求。5月初，這位亞洲最大酚醛樹脂生產基地的掌舵者告訴媒體，歷時26年，用於晶元製作的國產高端電子樹脂研製成功。專家認為，這種高端材料打破了美日等國壟斷，可大大加速我國自主晶元的研製進度。

作為晶元的核心材料，光刻膠及光刻膠用樹脂的技術曾長期由國外壟斷，中國長期依賴進口。1992年，唐一林開始組建團隊，著手酚醛樹脂的研發，並嘗試進行生產，但由於生產裝備落後，不掌握核心技術等原因，他們經歷了許多挫折，未能做出好的產品。無奈之下，只能將目光投向海外。1997年，經過嚴謹甄選，多輪談判，聖泉最終與英國海沃斯礦物及化學品有限公司達成了合作，引進了英國最先進的酚醛樹脂生產技術。

「核心技術受制於人是最大的隱患，而核心技術靠化緣是要不來的，只有自力更生。」作為過來人，唐一林深刻理解這句話的內涵。

在引進外智的同時，他沒有放下自主力量，引進了以原天津樹脂廠總工李乃寧高工為首的一系列研發骨幹；2007年，與中科院化學所合作成立了「酚醛樹脂技術研究中心」，引進並開發了包括火箭耐燒蝕材料在內的多個航天及軍工項目；之後，建成了博士工作站，與多個院校開展了產學研合作；2011年，又引進了日本先進的環氧樹脂生產技術，建成了國內最大的電子級特種環氧樹脂車間……

2017年，按照全球公認的獨角獸劃分標准，聖泉被中國證監會下屬的全國中小企業股份轉讓系統公司官方認定為「獨角獸」。而此時，他們的自主酚醛，已在多個國字型大小工程中充當大任。其中，先進樹脂材料——輕芯鋼服務於高鐵、磁懸浮列車；最新開發的特種樹脂和高端復合材料打破國外技術壟斷，已經被應用於國家航空航天器、火箭及導彈等軍工製品中；酚醛微球自「神舟八號」開始，連續被用於「神舟」系列中。

「中國從不缺乏晶元技術，也不缺乏晶元用材料，缺乏的是晶元鏈條上的企業擰成一股繩兒的聚合力，缺乏的是企業向深處鑽研的耐力。」利用26年探索終於磨礪出自己的「制芯」關鍵材料。唐一林認為：「我們之所以能研發成功，就是因為這個科研團隊有一股沒有突破絕不回頭的耐力。這可以為任重道遠的中國晶元科研提供些許參考。」

『貳』 光刻膠的作用

光刻開始於一種稱作光刻膠的感光性液體的應用。圖形能被映射到光刻膠上，然後用一個developer就能做出需要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑，是以智能管感光材料，在光的照射與溶解度發生變化。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分：感光化合物、基體材料和溶劑。在感光化合物中有時還包括增感劑。根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類：負性光刻膠和正性光刻膠。
1、負性光刻膠
主要有聚肉桂酸系（聚酯膠）和環化橡膠系兩大類，前者以柯達公司的KPR為代表，後者以OMR系列為代表。
2、正性光刻膠
主要以重氮醌為感光化合物，以酚醛樹脂為基體材料。最常用的有AZ-1350系列。正膠的主要優點是解析度高，缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。
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光刻膠的特點
1、在光的照射下溶解速率發生變化，利用曝光區與非曝光區的溶解速率差來實現圖形的轉移；
2、溶解抑制/溶解促進共同作用；
3、作用的機理因光刻膠膠類型不同而不同；
光刻膠的主要技術參數
1、解析度：區別矽片表面相鄰圖形特性的能力，一般用關鍵尺寸來衡量解析度。形成的關鍵尺寸越小，光刻膠的解析度越好。
2、對比度：指光刻膠從曝光區到非曝光區過渡的陡度。對比度越好，形成圖形的側壁越陡峭，解析度越好。
3、敏感度：光刻膠上產生一個良好的圖形所需一定波長的最小能量值（或最小曝光量）。單位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對於波長更短的深紫外光（DUV）、極深紫外光（EUV）等尤為重要。
4、粘滯性/黏度：衡量光刻膠流動特性的參數。粘滯性隨著光刻膠中的溶劑的減少而增加；高的粘滯性會產生厚的光刻膠；越小的粘滯性，就有越均勻的光刻膠厚度。
5、粘附性：表徵光刻膠粘著於襯底的強度。光刻膠的粘附性不足會導致矽片表面的圖形變形。
6、抗蝕性：光刻膠必須保持它的粘附性，在後續的刻蝕工序中保護襯底表面。
7、表面張力：液體中將表面分子拉向液體主體內的分子間吸引力。光刻膠應該具有比較小的表面張力，使光刻膠具有良好的流動性和覆蓋。
8、存儲和傳送：能量可以激活光刻膠。應該存儲在密閉、低溫、不透光的盒中。同時必須規定光刻膠的閑置期限和存貯溫度環境。
光刻膠的主要作用
1、將掩膜板上的圖形轉移到矽片表面的氧化層；
2、在後續工序中，保護下面的材料（刻蝕或離子注入）。

『叄』 酚醛樹脂的生產工藝是什麼

塗膠組合物用的酚醛樹脂,制備方法與含有該酚醛樹脂的組合物（法國-20頁）

酚醛樹脂組合物（日本-24頁）

火箭發動機用的彈性體化酚醛樹脂燒蝕性隔熱物（美國-30頁）

酚醛樹脂塗布的耐火聚集料（美國-9頁）

基於可熔酚醛樹脂的含鋁和硼的粘合劑體系（德國-14頁）

可熔性酚醛樹脂組合物及其固化方法（日本-9頁）

酚醛樹脂、環氧樹脂及其製造方法（日本-18頁）

光學性能改進的可溶可熔型酚醛樹脂（美國-40頁）

制備酚醛樹脂的方法（日本-13頁）

制備可熔酚醛樹脂的方法（德國-9頁）

使用乾性油改性酚醛樹脂組合物的酚醛樹脂層壓板（日本-14頁）

酚醛樹脂發泡體疊合板（日本-25頁）

層合酚醛樹脂泡沫板及其製造方法（美國-21頁）

具有改進光學性能的可溶可熔酚醛樹脂（美國-39頁）

用作不受水影響的環氧樹脂硬化劑的促進劑的酚醛樹脂（德國-8頁）

酚醛樹脂泡沫材料（美國-14頁）

用於酸固化酚醛樹脂組合物的反應性稀釋劑（美國-58頁）

酚醛樹脂硬化物的再生利用方法（日本-21頁）

用經植物油改性的酚醛樹脂制備的層壓板（日本-13頁）

用於熱塑性硫化橡膠的酚醛樹脂固化劑的優選結構（美國-25頁）

具有改善的耐沖擊性的酚醛樹脂組合物（美國-41頁）

線型酚醛樹脂及其製造方法（日本-21頁）

含水酚醛樹脂分散體（美國-14頁）

藉助低溫液面下強制水蒸汽蒸餾法分離可溶可熔酚醛樹脂（美國-13頁）

具有與反射層中鋁化學結合的酚醛樹脂的後向反射製品（美國-17頁）

用陰離子交換樹脂降低線型酚醛樹脂溶液中的金屬離子含量（美國-14頁）

酚醛樹脂模塑料（日本-13頁）

層壓板用乾性油改性酚醛樹脂組合物及使用該乾性油改性酚醛樹脂組合物的酚醛樹脂層壓板 （日本-15頁）

用於酚醛樹脂的發泡劑（英國-13頁）

生產酚醛樹脂制的滑輪的方法（日本-24頁）

改性酚醛樹脂的制備方法及其應用（德國-7頁）

酚醛樹脂組合物（日本-35頁）

改進了的酚醛樹脂（澳大利亞-25頁）

制備酚醛樹脂的方法（荷蘭-9頁）

經植物油改性的酚醛樹脂的制備方法及其在層壓過程中的用途（日本-14頁）

含有穩定化酚醛樹脂的水基膠粘劑組合物（美國-25頁）

酚醛樹脂粘合促進劑以及粘合劑組合物（美國-24頁）

制備用於高解析度光刻膠組合物的高玻璃化溫度線型酚醛樹脂的方法（美國-15頁）

制備平版印刷用的感光支化線型酚醛樹脂的方法（美國-12頁）

第二套：中國最新酚醛樹脂及其製品生產工藝技術專利大全（中文）題錄

酚醛樹脂發泡板材（7頁）

酚醛樹脂的固化促進劑微膠囊丸（5頁）

鐵基酚醛樹脂同步器錐環（6頁）

酚醛樹脂/粘土納米復合材料的生產方法（9頁）

一種酚醛樹脂基球形活性炭的制備方法（6頁）

不含或含低量游離氨的酚醛樹脂成型材料製造方法（15頁）

一種高強度酚醛樹脂及其製作工藝與應用（7頁）

鑄造覆膜砂粘土/酚醛樹脂納米復合物、生產方法及用途（9頁）

一種水溶性酚醛樹脂/納米粘土復合物及其制備方法（8頁）

一種呼吸輔助裝置用酚醛樹脂中空纖維膜的制備方法（7頁）

酚醛樹脂污水處理方法（6頁）

一種Novolak酚醛樹脂及其制備方法（9頁）

一種熱塑性酚醛樹脂/粘土納米復合材料及其制備方法（9頁）

一種納米粘土填充的熱固性酚醛樹脂及其制備方法（11頁）

感光型磷酯化酚醛樹脂、其組合物及其製法（16頁）

酚醛樹脂低溫發泡機（6頁）

松香改性混合烷基酚醛樹脂的制備（11頁）

採用酚醛樹脂作膠粘劑冷壓制備摩擦材料的方法（17頁）

一種改性酚醛樹脂及其生產方法（7頁）

酚醛樹脂復合板的連續製法（10頁）

用於低溫發泡的酚醛樹脂的生產方法和所製成的樹脂（12頁）

油墨樹脂油和松香改性酚醛樹脂廢水的處理方法（4頁）

酚醛樹脂覆膜砂用潰散劑組合物及配製方法（7頁）

一種水溶性磺甲基酚醛樹脂的制備方法（4頁）

改性酚醛樹脂與羧酸金屬鹽接枝共聚物（6頁）

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