㈠ 空氣濾清器的結構分類與工作原理
空氣過濾器的分類
(1)按工作原理，有慣性式、過濾式和復合型。
(2)按結構形式分，有乾式和濕式。
空氣過濾器的結構
空氣濾清器一般由進氣導管、空氣濾清器蓋、空氣濾清器外殼和濾芯組成。
空氣過濾器的工作原理
1.乾式慣性空氣過濾器
慣性空氣濾清器由防塵罩、導葉、出塵口、塵杯等組成。其工作原理是利用氣缸在進氣沖程中產生的吸力，使空氣濾清器內外產生壓力差。在壓力的作用下，外界空氣高速進入空氣濾清器，混合在空氣中的大質量灰塵被拋入集塵杯，完成空氣過濾。
2.濕慣性空氣過濾器
濕式空氣過濾器又稱油浴過濾器，主要由中心管、油池等組成。其工作原理是空氣進入過濾器後，沿中心管高速下降，沖到油池的油麵後，運動方向突然變為向上，產生旋轉運動。此時質量較大的一部分灰塵因為慣性卡在油中，無法隨空氣向後運動，從而完成空氣過濾。
3.乾式過濾器空氣過濾器
千濾空氣過濾器主要由紙質濾芯和密封墊等組成。其工作原理是空氣進入濾清器時通過紙質濾芯過濾，使空氣中的灰塵與濾芯分離或附著在濾芯上。
4.濕過濾器空氣過濾器
濕式過濾器主要由浸在油中的金屬網組成。其工作原理是油浴過濾後的空氣通過浸有機油的金屬網時，細小的塵粒被截留，粘附的塵粒隨機油落入油底殼。
空氣過濾器的功能
過濾空氣中的雜質或灰塵，讓干凈的空氣進入氣缸。
㈡ FFU過濾單元FFU過濾單元說明
FFU，即Fan Filter Unit，是一種結合了風機與過濾器的設備，常被稱作「自帶風機的過濾裝置」。它主要被安裝在潔凈室的送風末端，通常置於吊裝的「乾式」墊片密封龍骨框架上。FFU由風機模塊和過濾器兩部分構成。根據所需的潔凈度，過濾器可以選擇高效（HEPA）或超高效（ULPA）等級，以提供潔凈空氣。風機模塊不僅要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環風所有通道部件的阻力，以維持設定的運行風速。FFU系統以其設計施工簡便、風速調節靈活、易於變更潔凈區的特點，成為了工業潔凈室的流行系統形式。
該機組設計靈活，便於與專用型吊頂骨架及其他合適的骨架配合使用。當採用刀邊型框架時，該機組也可用於液槽密封吊頂骨架。根據設計的規格，它可以輕松配合任何吊頂骨架，滿足潔凈等級要求。外框可以選擇鋁質或不銹鋼材質，各具特色。使用這種機組，可以為潔凈室提供高質量的空氣流通，適用於半導體、電子、平板顯示器和磁碟驅動器的製造廠家，以及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的光學、生物工業等領域。
通常，在萬級無塵室內所使用的高效過濾器，能夠對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達到99.99%。出風風速設定為0.4m/s，最大不能承受超過20KG以上的外力作用，以免破壞過濾器的組織結構。