A. 国内哪里可以买到SU8(一种光刻胶,Micro Chem公司的)
Tecan SU-8元件开始供货
据Yole消息,Tecan公司日前宣布其开始引入基于SU-8材料的技术。该公司是光电铸镍微器件的领先供应商,总部位于麻省魏茂斯镇。
上个月该公司出货3000万个SU8材料的微器件。而这么多微器件可以装在一个试管里。
SU-8是一种紫外敏感的厚光刻胶。近年来由于其优秀的化学、热学以及机械稳定性而越来越广泛地应用。目前已经应用在MEMS,包括MOEMS、微流体、机械、传感器、执行器、生物芯片、微齿轮以及校准工具等。
http://www.tecan.co.uk
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文章收入时间: 2006-11-10
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B. 请问国内卖SU8光刻胶的公司有哪些呢
Microchem光刻胶目前国内提供现货的没有几家,基本都是有订单才会从美国订购。货期一般在3个月左右。比较慢!我知道苏州中芯启恒科学仪器有限公司有现货,不过是分装。不想等太久可以去咨询。
C. su8 2050光刻胶的参数,就是转速与厚度的关系
T2*S=常数
厚度的平方乘以转送等于常数.
这是经验公式,适于用标准制程,即基本主转速之前专没有高转速干扰属.
如果有,需要修正因子,相对复杂,需要实验数据说话.
建议,先根据公式做几个实验,验证一下,来调整你的厚度和标准差.
另外,要强调的是,调厚度不仅仅看转速,要看到pump的时间,喷光阻的时间,喷光租的转速,切断转速等等,很多因素;说起来简单,其实是个技术活!
D. 在哪里可以买到SU8光刻胶价格大概是多少
香港电子来器材有限公司有售自,平均来说每升大约10000元。具体联系信息不便张贴,网上应可以查的到,如果找不到可以email联系我:[email protected]。我们这里(博奥生物有限公司,生物芯片北京国家工程研究中心)一直在用SU8及其它各类光刻胶在PDMS、PMMA、硅、玻璃等基底上做各种微流体(microfluidics)、微电极以及MEMS相关的工艺,对外提供芯片加工服务,欢迎来信交流技术。
E. su8光刻胶uv坚膜是什么意思
坚膜就是Hard bake,把膜烘干,再显影时维持profile线条不变形。