㈠ 空气滤清器的结构分类与工作原理
空气过滤器的分类
(1)按工作原理，有惯性式、过滤式和复合型。
(2)按结构形式分，有干式和湿式。
空气过滤器的结构
空气滤清器一般由进气导管、空气滤清器盖、空气滤清器外壳和滤芯组成。
空气过滤器的工作原理
1.干式惯性空气过滤器
惯性空气滤清器由防尘罩、导叶、出尘口、尘杯等组成。其工作原理是利用气缸在进气冲程中产生的吸力，使空气滤清器内外产生压力差。在压力的作用下，外界空气高速进入空气滤清器，混合在空气中的大质量灰尘被抛入集尘杯，完成空气过滤。
2.湿惯性空气过滤器
湿式空气过滤器又称油浴过滤器，主要由中心管、油池等组成。其工作原理是空气进入过滤器后，沿中心管高速下降，冲到油池的油面后，运动方向突然变为向上，产生旋转运动。此时质量较大的一部分灰尘因为惯性卡在油中，无法随空气向后运动，从而完成空气过滤。
3.干式过滤器空气过滤器
千滤空气过滤器主要由纸质滤芯和密封垫等组成。其工作原理是空气进入滤清器时通过纸质滤芯过滤，使空气中的灰尘与滤芯分离或附着在滤芯上。
4.湿过滤器空气过滤器
湿式过滤器主要由浸在油中的金属网组成。其工作原理是油浴过滤后的空气通过浸有机油的金属网时，细小的尘粒被截留，粘附的尘粒随机油落入油底壳。
空气过滤器的功能
过滤空气中的杂质或灰尘，让干净的空气进入气缸。
㈡ FFU过滤单元FFU过滤单元说明
FFU，即Fan Filter Unit，是一种结合了风机与过滤器的设备，常被称作“自带风机的过滤装置”。它主要被安装在洁净室的送风末端，通常置于吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU由风机模块和过滤器两部分构成。根据所需的洁净度，过滤器可以选择高效（HEPA）或超高效（ULPA）等级，以提供洁净空气。风机模块不仅要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，以维持设定的运行风速。FFU系统以其设计施工简便、风速调节灵活、易于变更洁净区的特点，成为了工业洁净室的流行系统形式。
该机组设计灵活，便于与专用型吊顶骨架及其他合适的骨架配合使用。当采用刀边型框架时，该机组也可用于液槽密封吊顶骨架。根据设计的规格，它可以轻松配合任何吊顶骨架，满足洁净等级要求。外框可以选择铝质或不锈钢材质，各具特色。使用这种机组，可以为洁净室提供高质量的空气流通，适用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的制造厂家，以及其他对空气中污染有严格控制要求的光学、生物工业等领域。
通常，在万级无尘室内所使用的高效过滤器，能够对空气中粒径为0.3um的微粒子过滤效率达到99.99%。出风风速设定为0.4m/s，最大不能承受超过20KG以上的外力作用，以免破坏过滤器的组织结构。